作者: 本站编辑 发布时间: 2023-05-05 来源: 本站
洁净室的压力控制是非常重要的,因为它直接影响到洁净室内的空气质量和颗粒物的浓度。洁净室内的压力应该是正压或负压,具体的要求取决于洁净室的用途和要求。
对于一般的洁净室,正压要求在10-15帕(Pa)之间,负压要求在-10~-15帕(Pa)之间。在微电子和半导体制造等高度敏感的场合中,要求更高的洁净度,此时正压要求在30-50帕(Pa)之间,负压要求在-30~-50帕(Pa)之间。
需要注意的是,洁净室的压力控制需要定期检测和调整,以保证洁净室内的空气质量符合要求。